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產(chǎn)品系列
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導(dǎo)電陶瓷為抗靜電材料,一體成型不含任何重金屬,比傳統(tǒng)APS鍵鐵氟龍有更好的質(zhì)量優(yōu)勢,抗靜電壽命更長,沒有掉粉風(fēng)險,良率更高。尤其在先進(jìn)制程7納米以下,使用導(dǎo)電陶瓷更是有其必要性。目前在TSMC已經(jīng)通過驗證,且已正式供資使用。 查看更多
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我們提供自主知識產(chǎn)權(quán)的陶瓷靜電吸盤產(chǎn)品,可應(yīng)用于真空系統(tǒng)中半導(dǎo)體和非導(dǎo)體(硅品國、玻璃)基板的吸附,和需要靜電防護(hù)自動化、拖遠(yuǎn)的任何場景。 查看更多
